正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有一定的作业压强规模,如:2bv系列水环真空泵作业压强规模760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强规模内,泵的抽速随压强而改变(详细改变情况参照泵的功能曲线),其安稳的作业压强规模为760~60mmhg.因而,泵的作业点应该选在这个规模之内较为适合,而不能让它在25~30mmhg下长期作业。
真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有挑选性抽气,因而,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需求几种泵组合起来,互相补充才能满意抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速。
但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。